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英國Quorum K975X多用途高真空鍍膜儀
英國Quorum K975X多用途高真空鍍膜儀
英文名稱:總訪問:9293
國產/進口:進口半年訪問:485
產地/品牌:英國/Quorum產品類別:電子顯微鏡
型       號:K975X 最后更新:2020-6-5
貨       號:
參考報價:請咨詢:025-85432178
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  • 公司簡介

儀器簡介:
K975X渦輪蒸鍍儀是一個多用途系統,它具有靈活性和模塊化擴展功能,以適應不同的樣品制備。
它可從蒸籃和坩鍋進行碳蒸發、金屬蒸發并且可選濺射附件。
K975X可應用一系列成熟技術,包括鍍碳及TEM覆形,碳/金屬蒸發、低角度Shadowing和通過使用雙源蒸發進行順序涂層,可選的濺射鍍膜附件能適用于各種靶材。
通過使用微處理控制器,更增強了系統的靈活性,用戶很容易附加各種可選件,但是這些“缺省”都是經過優化操作設計,使得全自動和手動操作均可實現最佳操作。
獨特的抽屜式樣品裝載系統使用戶方便放入各種樣品,鉸鏈式頂蓋結構很容易達到系統其它區域。
渦輪分子泵安裝在系統外部,可方便安裝及更換,它的前級真空為旋轉真空泵。 整個抽氣過程為全自動控制,達到高真空后進行蒸發。本儀器為臺式,可方便地進行使用控制,使用中的疏忽也不易造成損壞。

K975S半導體晶圓蒸鍍儀
K975S基于K975X,但是它具有特殊的裝載鎖定門,可允許放入8英寸(200mm)晶圓鍍碳,應用于FIB。

優點
● 容易操作
● 使用靈活
● 可靠的碳蒸發
● 方便的樣品裝載及卸載
● 靈活的操作,可選擇碳及金屬蒸發源
● 在排氣過程中可防止樣品損壞
● 系統靈活性強
● 很容易測量金屬或碳沉積膜厚

技術參數:
儀器尺寸:450mm W x 500mm D x 300mm H 
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃,帶有鉸鏈式頂蓋。250mm Dia x 300mm H(樣品可達直徑200 mm即8")
安全鐘罩:聚碳酸酯,維護時工作腔室很容易移開
重量:65Kg
碳槍:高度可調,傾斜0-20o ,使用直徑6.15mm碳棒
渦輪分子泵:100L/Second為標準配置,可選各種尺寸
真空計范圍:ATM - 1x10-7mbar
工作真空達到時間:15分鐘內
操作真空:10-5 mbar量級(可選液氮冷阱)
蒸發源(脈沖或可變控制):四種模式可選,低電壓
a.c. V, 5V, 15V,25V @ 25 amps. 7V @100 amps
樣品臺:0-45o可傾斜 
旋轉樣品臺(可選):直徑60mm,傾斜0-45o,具有
15rpm 到 45rpm可變速度控制
Services –Argon(對可選濺射附件) - Nominal 4psi. 
真空泵:No. 2 泵(2m3/Hr),complete with Vacuum Hose 
& Oil Mist Filter
電源:230V 50/60Hz (包含泵最大電流為8 Amp);
115V 50/60Hz (包含泵最大電流為16 Amp)
注:In Circuits with Current Trips , when using Pulse for 
230 v a 16amp minimum for 115 v a 32 amp minimum

可選濺射附件 
濺射電流:0到100mA
沉積速率:0到50nm/分(Au)
標準靶:57mm Au(可選Pt, Pt/Pd, Pd, Cr, Ni, Cu, Ag)
定時:0到4分鐘
HT安全互鎖裝置

可選膜厚監測系統
可選輝光放電

主要特點:
特點
● 全自動抽真空系統
● 樣品尺寸可達140毫米見方或200毫米直徑
● 獨特的“anti-stick”碳棒蒸發機構
● 抽屜式樣品裝載系統
● 可選的蒸鍍類型,具有四種蒸發設置
● 約束的或開放的排氣控制
● 可選用各種濺射靶材附件適用于一系列金屬
● 可選膜厚監測系統                    

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